国家/地区 美国(65) 中国(13) 德国(12) 英国(10) 世界知识产权组织(9) 印度(2) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 B(66) H(52) C(20)
G(15)
IPC大类 B82(66)
IPC小类 B82Y(66) H01L(49) C01B(15)
G01N(12) B32B(6) H01B(6)
C23C(5) C12Q(4) B05D(3)
B82B(3) C23F(3) B44C(2)
C07C(2) C40B(2) G02B(2)
IPC B82Y040/00(42) B82Y030/00(26) B82Y099/00(22)
H01L029/06(17) B82Y010/00(16) H01L029/16(16)
H01L029/78(16) H01L021/336(15) H01L051/05(12)
C01B031/04(11) H01L051/00(11) H01L021/02(10)
H01L029/66(10) H01L029/775(10) H01L021/28(7)
发明人 AFZALIARDAKANI A(14) DIMITRAKOPOULOS C D(11) AVOURIS P(10)
GRILL A(10) ZHU W(10) LIN Y(9)
FARMER D B(8) HAN S(8) TULEVSKI G S(8)
MAAROUF A(7) MARTYNA G J(7) DIMITRAKOPOULOS C(6)
PENG H(6) BOL A A(5) CHANDRA B(5)
公开年 2013(26) 2014(14) 2012(10) 2015(9) 2011(3) 2018(2)
申请年 2012(28)  2011(13)  2013(10)  2014(4)  2015(4)  2010(3)  2017(2) 
专利权人 INT BUSINESS MACHINES CORP(66)